簡(jiǎn)要描述:ZG-450D多晶硅鑄錠爐本設(shè)備采用電阻加熱方式,底部進(jìn)出料結(jié)構(gòu)。一次裝入多達(dá)450Kg/500kg(視坩堝尺寸而定)多晶硅原料,用于多晶硅料的鑄錠。
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品牌 | 廈門地坤 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
ZG-450D多晶硅鑄錠爐
技術(shù)參數(shù):
1.額定功率:200KW
2.常用溫度:1500℃,高溫度:1600℃
3.冷態(tài)極限真空度:<1Pa
4.坩堝尺寸:870×870×420(L×W×H)mm
5、大鑄錠重量:450Kg
6.移動(dòng)隔熱屏大位移量:380(mm)
7.移動(dòng)隔熱屏提升速度:5~100mm/h(可調(diào))
詳細(xì)描述:
設(shè)備用途:本設(shè)備采用電阻加熱方式,底部進(jìn)出料結(jié)構(gòu)。一次裝入多達(dá)450Kg/500kg(視坩堝尺寸而定)多晶硅原料,用于多晶硅料的鑄錠。
ZG-450D多晶硅鑄錠爐設(shè)備特點(diǎn):
1、爐底設(shè)有防漏硅裝置及防爆裝置;
2、溫度梯度好,拉出硅棒效果好,雜質(zhì)少;
3、爐底升降采用機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu),定向結(jié)晶通過(guò)爐內(nèi)升降機(jī)構(gòu),伺服機(jī)構(gòu)保溫罩升降平穩(wěn),操作方便;
4、一種帶可升降式保溫罩的多晶硅鑄錠爐;一種帶水冷式雙電極和軟電纜的多晶硅爐;
ZG-90多晶硅鑄錠提純爐
90kg多晶硅鑄錠提純爐ZG-90
設(shè)備特點(diǎn):
本設(shè)備為立式結(jié)構(gòu),具有高真空、充氣及高溫熔化定向凝固等功能,是多晶硅原料熔化及成錠的優(yōu)選設(shè)備,在添加等到離子加熱源后可滿足部分提純要求。設(shè)備具有自動(dòng)控溫、快速升溫冷卻、快速升降取錠、超壓保護(hù)等功能,同時(shí)設(shè)有操作平臺(tái)方便操作及維護(hù)。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | 名稱 | 額定功率 | 額定溫度 | 坩堝容量 | 定向凝固速度 | 冷態(tài)極限真空度 |
ZG-90D | 多晶硅定向凝固爐 | 160KW | 1600℃ | 90KG | 5-25mm/小時(shí) | 6.67×10-2Pa |
ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐
實(shí)驗(yàn)用8kg多晶硅鑄錠爐ZT-40-16D
研發(fā)背景:
應(yīng)某大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室要求,本公司新研發(fā)了一臺(tái)小型實(shí)驗(yàn)室專用多晶硅鑄錠爐,此設(shè)備具有如下特點(diǎn):
1.具有當(dāng)今市場(chǎng)主流鑄錠爐的一切功能,包括實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行。
2.具有生產(chǎn)周期短,能耗低,實(shí)驗(yàn)成本節(jié)約的特點(diǎn)。
3.增加了部分新功能,除鑄錠以外,還實(shí)現(xiàn)部分提純功能。
技術(shù)參數(shù):
1.功率:40KW
2.坩堝容量:標(biāo)準(zhǔn)10英寸
3.高溫度:1550度
4.極限真空度:10-1Pa
5.保溫罩上移距離:200mm
6.爐底大位移:800mm
7.進(jìn)出料方式:爐底進(jìn)出
8.加熱元件:石墨管加熱
9.保護(hù)功能:除了超壓自動(dòng)泄壓、漏硅聲光報(bào)警、更有*的漏硅保護(hù)措施,確保操作安全。
10.常用溫度:1550℃
11.高溫度:1600℃
12.控制方式:可控硅調(diào)功+大電流變壓器
13.控溫精度:±3℃
14.石英坩堝尺寸:198×198×200mm(L×W×H)
15.鑄錠重量:2-8KG
16.保溫桶大位移:200mm
17.空爐冷態(tài)極限真空度:≤6.67×10-1Pa
18.保溫層移動(dòng)速度:0.5-25mm /小時(shí)(可調(diào))
19. 空爐冷態(tài)壓升率:≤2 Pa/h
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